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安徽夢凈源|案例豐富(圖)-無塵車間凈化工程-淮北凈化工程

 10級：主要用于帶寬小于2微米的半導體工業(yè)。其空氣凈化要求僅次于1級，并且我國半導體技術也在發(fā)展之中，在未來對潔凈度的要求更加高。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導體車間，這種車間不宜超過25度。凈化工程在設計時，無論是新建還是重新改造的凈化車間，都一定依照國家相關標準、規(guī)范進行。

凈化工程在設計時，工程的墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板，其特點為美觀、剛性強。圓弧墻角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材。凈化工程的步的關鍵是設計，工程設計水平的好與壞將直接關系到整個工程之后的施工，還會影響凈化工程今后的穩(wěn)定性、可靠性、經(jīng)濟性。相對濕度越高,粘附的難去掉，但當相對濕度低于30%時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時大量半導體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)溫度范圍為35—45%。

在實際施工中，凈化項目通常分為專業(yè)，分工和分時。 這種安排有利于各種專業(yè)和工作類型的管理。 但是，易于進行多塵和無塵的交叉操作，應盡可能避免這種結(jié)構(gòu)布置。 如果不可避免，應該防止灰塵和有效清潔。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。我們國家的空氣分子控制等的技術正在朝有利的方向發(fā)展，這項技術原先是由日本發(fā)展起來的，現(xiàn)在已經(jīng)受到了全世界的關注和認可，在我們國家，這項技術已經(jīng)受到了相關行業(yè)的重視并且投入研發(fā)，相信在不久的未來，我們國家的相關科研人員一定會在這個領域取得讓人滿意的成績，為我們國家的凈化工程行業(yè)做出貢獻。