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10級：主要用于帶寬小于2微米的半導(dǎo)體工業(yè)。其空氣凈化要求僅次于1級，并且我國半導(dǎo)體技術(shù)也在發(fā)展之中，在未來對潔凈度的要求更加高。設(shè)計合理的空間面積應(yīng)考慮到設(shè)備操作、維修的需要。生產(chǎn)區(qū)和儲存區(qū)應(yīng)有與生產(chǎn)規(guī)模相適應(yīng)的空間面積，用以安置設(shè)備、物料，便于操作和維修?，F(xiàn)在我們國家的經(jīng)濟(jì)科技在發(fā)展，同時帶動了社會各行各業(yè)在告訴發(fā)展中。以凈化工程這個行業(yè)為例，在目前呈現(xiàn)一片喜人的發(fā)展態(tài)勢。

布置工藝的流程盡可能短，減少交叉往復(fù)，、物流走向合理。要配備人員凈化室、物料凈化室，除配備產(chǎn)品工序要求的用室外，還應(yīng)配備潔具室、洗衣間、暫存室等，每間用室相互，凈化工程的面積應(yīng)在保證基本要求前提下，與生產(chǎn)規(guī)模相適應(yīng)。潔凈室中的溫濕度控制。潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到 人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢。排風(fēng)系統(tǒng)有一般排風(fēng)系統(tǒng)、有機(jī)氣體排風(fēng)系統(tǒng)、酸性氣體排風(fēng)系統(tǒng)、堿性氣體排風(fēng)系統(tǒng)等，凈化車間設(shè)計時，要根據(jù)實際情況選擇。

潔凈外走廊和其他輔助用房采用彩鋼板，彩鋼板板厚度必須按國家標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行。風(fēng)管要求經(jīng)濟(jì)與效率并重在無塵車間工程集中或凈化空調(diào)系統(tǒng)中，對風(fēng)管的要求是既經(jīng)濟(jì)又能有效地送風(fēng)。前者要求體現(xiàn)在價格低廉，方便施工，運行成本，內(nèi)表面光滑阻力小。后者是指嚴(yán)密性好，不漏氣，不發(fā)塵，不積塵，不污染，可耐火、耐腐蝕、耐潮濕。通過潔凈車間技術(shù)在凈化工程的應(yīng)用中可以看出，潔凈車間凈化工程中各級空氣潔凈度的空氣凈化處理，均采用了初級效率、中級效率、效率的空氣過濾器。