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池州凈化工程施工-安徽夢(mèng)凈源|質(zhì)量至上(在線咨詢)

無塵凈化工程通風(fēng)除塵方式

根據(jù)國(guó)家環(huán)境保，無塵凈化工程通風(fēng)除塵系統(tǒng)中送風(fēng)和排風(fēng)部分均需裝置消音設(shè)備，且送風(fēng)與排風(fēng)部分的所有風(fēng)管均需裝置軟管接頭，以達(dá)到減小震動(dòng)、減少噪音和改善勞動(dòng)條件的目的。另外，由通風(fēng)機(jī)排出的毒氣與粉塵物質(zhì)要經(jīng)過廢氣凈化回收器后，再排至空氣中，以減少大氣的污染。水平送風(fēng)管設(shè)置在車間內(nèi)墻一側(cè)上方，（高度一般5米左右，具體根據(jù)車間空間狀況確定）局部排風(fēng)裝置設(shè)在車間內(nèi)靠外墻一側(cè)下方，高度根據(jù)工作臺(tái)面情況確定。

直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院螅瑢?duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超過25度。凈化工程的步的關(guān)鍵是設(shè)計(jì)，工程設(shè)計(jì)水平的好與壞將直接關(guān)系到整個(gè)工程之后的施工，還會(huì)影響凈化工程今后的穩(wěn)定性、可靠性、經(jīng)濟(jì)性。具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細(xì)，所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。

具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細(xì)，所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。壓力差的維持依靠新風(fēng)量，這個(gè)新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄（或滲透）風(fēng)量通過潔凈室的各種縫隙時(shí)的阻力。凈化工程的步的關(guān)鍵是設(shè)計(jì)，工程設(shè)計(jì)水平的好與壞將直接關(guān)系到整個(gè)工程之后的施工，還會(huì)影響凈化工程今后的穩(wěn)定性、可靠性、經(jīng)濟(jì)性。