
安徽省夢凈源環(huán)境科技發(fā)展有限公司
經(jīng)營模式:生產(chǎn)加工
地址:安徽省合肥市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)芙蓉路與轎頂路交口東北天潤大廈921室
主營:凈化工程,凈化車間
業(yè)務(wù)熱線:1372-1031023
安徽夢凈源|設(shè)計施工(多圖)-蕪湖潔凈室凈化工程
而隨著凈化技術(shù)的發(fā)展,建設(shè)凈化車間的技術(shù)含量也越來越高,非專業(yè)人士不能也。除了在生產(chǎn)領(lǐng)域,凈化工程技術(shù)還會逐漸應(yīng)用于家庭、公共場合,為人們提供更潔凈的生活空間相對濕度越高,粘附的難去掉,但當(dāng)相對濕度低于30%時,又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)溫度范圍為35—45%。地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或耐磨塑料地板,有防靜電要求的,要選用防靜電型。送回風(fēng)管道一般用鍍鋅鋼板,不宜選用玻璃棉類材料保溫。照明應(yīng)選用凈化車間專用燈具。





直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間不宜超過25度。凈化工程的步的關(guān)鍵是設(shè)計,工程設(shè)計水平的好與壞將直接關(guān)系到整個工程之后的施工,還會影響凈化工程今后的穩(wěn)定性、可靠性、經(jīng)濟(jì)性。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細(xì),所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。
具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細(xì),所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。壓力差的維持依靠新風(fēng)量,這個新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透)風(fēng)量通過潔凈室的各種縫隙時的阻力。凈化工程的步的關(guān)鍵是設(shè)計,工程設(shè)計水平的好與壞將直接關(guān)系到整個工程之后的施工,還會影響凈化工程今后的穩(wěn)定性、可靠性、經(jīng)濟(jì)性。