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凈化車間的凈化方式都包括哪些呢？

物理凈化方法

1 吸附過濾即活性炭：活性炭是一種多孔含碳材料，具有高度發(fā)達的孔結(jié)構(gòu)，活性炭的多孔結(jié)構(gòu)為其提供大量的表面積，能與氣體（雜質(zhì)）完全接觸，這使得活性炭具有吸附性能，很容易達到吸收和收集雜質(zhì)的目的。像磁力一樣，所有分子之間都具有相互吸引力。

2 機械過濾：HEPA網(wǎng)，中文意思是空氣過濾器，達到HEPA標準的過濾網(wǎng)，對于0.3微米的有效率達到99.998%，HEPA網(wǎng)的特點是空氣通過，但小顆粒不能通過。HEPA過濾網(wǎng)由一疊連續(xù)前后折疊的亞玻璃纖維膜組成，以形成用于放置和支撐過濾邊界的波狀墊片。

 布置工藝的流程盡可能短，減少交叉往復，人1流、物流走向合理。要配備人員凈化室、物料凈化室，除配備產(chǎn)品工序要求的用室外，還應配備潔具室、洗衣間、暫存室等，每間用室相互獨立，凈化工程的面積應在保證基本要求前提下，與生產(chǎn)規(guī)模相適應?，F(xiàn)在我們國家的凈化工程已經(jīng)在朝著節(jié)能的方向發(fā)展了，除了專業(yè)人士以外，其他人很少知道凈化工程的耗能量特別大，時候普通寫字樓的20倍，比美國更發(fā)達國家高出了15%。看到這些令人心驚的數(shù)字，我們國家的科學家們從節(jié)能的角度出發(fā)從根本上出出發(fā)，設計出能夠節(jié)省的相關(guān)設備。潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。

.潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。

相通潔凈室之間的門要開向潔凈度級別高的房間

 具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。10級：主要用于帶寬小于2微米的半導體工業(yè)。其空氣凈化要求僅次于1級，并且我國半導體技術(shù)也在發(fā)展之中，在未來對潔凈度的要求更加高。凈化工程在設計時，無論是新建還是重新改造的凈化車間，都一定依照國家相關(guān)標準、規(guī)范進行。