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潔凈室凈化工程設(shè)計(jì)

設(shè)計(jì)合理的空間面積應(yīng)考慮到設(shè)備操作、維修的需要。生產(chǎn)區(qū)和儲(chǔ)存區(qū)應(yīng)有與生產(chǎn)規(guī)模相適應(yīng)的空間面積，用以安置設(shè)備、物料，便于操作和維修。一般潔凈室高度控制在2.60米，對(duì)個(gè)別較高的設(shè)備可在局部加高，而不宜提高潔凈區(qū)的高度。車間內(nèi)部應(yīng)設(shè)有物料的中間站，其面積足以存放物料、中間產(chǎn)品、待驗(yàn)品和成品，且便于明確分區(qū)，以*大限度地減少差錯(cuò)和交叉污染.二、提高設(shè)備水平設(shè)備的材質(zhì)、加工精度、密閉程度以及管理制度都與交叉污染有關(guān)。所以除了合理布局外，提高設(shè)備的自動(dòng)化水平和組成聯(lián)動(dòng)的生產(chǎn)線，以減少操作人員，降低人員的活動(dòng)頻率，是防止交叉污染的必要措施。

車間凈化工程：控制凈化車間污染

進(jìn)入凈化車間須知：

(1)進(jìn)入無塵凈化車間應(yīng)穿干凈鞋具，不得帶油漬、污泥入內(nèi);

(2)室內(nèi)不得吸煙、飲食和飲水;

(3)焊接、切割、鑿洞等有塵作業(yè)必須加以控制，防止碎屑大范圍擴(kuò)散，每天工作結(jié)束時(shí)應(yīng)將垃圾搬出室外倒入規(guī)定處;

(4)施工材料堆放整齊;

(5)室內(nèi)嚴(yán)禁大小便;

(6)有違犯以上規(guī)定者，應(yīng)立即取消在凈化車間工作的資格。

 具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細(xì)，所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。10級(jí)：主要用于帶寬小于2微米的半導(dǎo)體工業(yè)。其空氣凈化要求僅次于1級(jí)，并且我國(guó)半導(dǎo)體技術(shù)也在發(fā)展之中，在未來對(duì)潔凈度的要求更加高。凈化工程在設(shè)計(jì)時(shí)，無論是新建還是重新改造的凈化車間，都一定依照國(guó)家相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范進(jìn)行。